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【极紫外光刻技术获突破：可大幅提高能源效率，降低半导体制造成本】冲绳科学技术大学院大学（OIST）的教授新竹俊（Tsumoru Shintake）提出了一种极紫外（EUV）光刻技术。详情点击：O极紫外光刻技术获突破：可大幅提高能源效率，...
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