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ZEMAX光学设计实例(142)---一个沃拉斯顿棱镜的设计

2021-12-20 10:31| 发布者:Davis| 查看:1105| 评论:0|原作者: 小小光08

摘要:本文介绍了使用ZEMAX实现沃拉斯顿棱镜的光学设计,该器件在光刻照明、双频激光干涉仪、光谱仪、偏振分析仪等领域应用广泛。文章详细介绍了棱镜的组成、材料选择以及仿真过程,并展示了偏振光瞳图的计算结果。可选材料包括KDP、石英、方解石、YVO4、氟化镁和α-BBO等。



 

引言:

沃拉斯顿棱镜(Wollaston prism),一种偏振光学器件,能产生两束彼此分开的、振动方向互相垂直的线偏振光。它是有由两个直角棱镜组成的。在光刻照明、双频激光干涉仪、光谱仪、偏振分析仪等精密加工、测量等领域应用非常广泛。

                           

沃拉斯顿棱镜所用材料可以是方解石、石英、KDP,YVO4、氟化镁和α-BBO等。,中间可以用甘油或蓖麻油粘合,也可以用光胶或键合的方式制成(这个方式的抗损伤阈值更高)。

 

设计一个沃拉斯顿棱镜。

(该设计来自ZEMAX自带实例)

 

设计仿真:

在系统通用对话框中设置孔径。在孔径类型中选择“Entrance Pupil Diameter”,并根据设计要求输入“10.0”;

在视场设定对话框中设置1个视场,Field Type为“angle”,如下图:

在波长设定对话框中,选择0.400um一个波长,如下图:

LDE的结构参数,如下图:

两个棱镜的材料选用KDP。

第2面BirefringentIn设置中,Draw Axis填入“75”;参数Mode,填入“0”;X-Cosine填入“0”、Y-Cosine填入“1”。

第4面设置为Birefringent Out;

第5面BirefringentIn设置中,Draw Axis填入“75”;参数Mode,填入“1”;X-Cosine填入“1”、Y-Cosine填入“0”。

在第4面和第5面的前后插入坐标断点,旋转45°。

第7面设置为Birefringent Out。

ZEMAX不能同时追迹两条光线,但是可以容易地创建一个多重组态镜头。

打开MCE,设置如下:

查看3D Layout,如下图:


此时,寻常光和非寻常光就可以同时追迹了。

 

偏振光瞳图,表示偏振椭圆关于曈面位置的函数。这可以帮助观察整个光瞳上的偏振变换情况。这个功能也可以用于计算系统中的透射率,该系统用独立的组态模拟重叠光路,例如双目偏振光束分光镜和干涉仪。

在偏振光瞳图的参数设置,如下图:

Jx与Jy为琼斯电场,用于定义初始偏振;

X-Phase和Y-Phase分别为用角度表示的琼斯电场X和Y分量的相位;

Surface为数据所显示的表面。

Sampling为光瞳上采样网格的尺寸。

Add Configs和Sub Configs分别为添加组图和减少组态,如果设置为空,偏振椭圆只对单一组态计算并且不会考虑干涉效应。

查看组态1(Config 1)的各个偏振光瞳图(Polarization Pupil Map):

 





 

查看组态2(Config 2)的各个偏振光瞳图(Polarization Pupil Map):










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